iComLine隔膜截止阀

所属品牌：GEMU盖米

产品型号：53 iComLine

GEMU盖米 53 iComLine电动控制阀是一款2/2隔膜隔膜截止阀，是为半导体生产中准确而苛刻的控制应用而开发的。阀门的密封概念基于久经考验的GEMÜPD设计，其​​中执行器和介质通过PTFE调节锥分开。由于调节锥的轮廓，执行机构的行程和连接尺寸可以根据客户要求进行定制，因此GEMÜC53 iComLine几乎可以满足高科技半导体行业的所有控制和流量要求。得益于精密步进电机与超纯车身材料的结合，它特别适用于光刻，CMP和蚀刻工艺，以及在半导体产品的分析领域中的应用。