Wasco 压力开关

Wasco 真空开关

UC8 系列结合了 Wasco 专有的制造方法以及 Elgiloy 隔膜。它提供超高纯度和无与伦比的耐腐蚀性。其全焊接结构消除了所有泄漏路径。该系列是处理腐蚀性介质的开关，具有高精度和严格的公差。设计的 UC8 系列适用于下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境。UC8 系列的额定应用周期超过 2，000，000 个 95B2。UC8 系列的材料选项可满足或超过 SEMI F20 UHP 要求。所有开关都经过氦气泄漏测试，根据 SEMI F1 ≤ x 10-9 标准立方厘米/秒。

P10自动复位开关将在压力超过设定点时改变电极的状态（切入/切出）。当压力超过复位点时，电气状态将恢复到以前的状态。这些开关不需要人工交互即可操作。P10 系列采用全焊接单元设计，消除了泄漏路径，不锈钢外壳使该系列能够全天候使用。Wasco 该系列是需要监测清洁剂和气体的应用的开关。P10 系列提供多种接头和电气连接。

自 160 年以来，行业的客户一直依赖 UHP1989 系列的可靠性和性能。该系列除了采用全焊接结构外，还具有全不锈钢传感器。UHP160 系列采用 Wasco 专有的制造方法，消除了所有泄漏路径。该系列是处理腐蚀性介质的开关，具有高精度和严格的公差。Wasco 为半导体设备等超高纯度应用设计了这些开关。UHP160 系列不含任何弹性体或 O 形圈。所有开关都经过氦气泄漏测试，根据 SEMI F1 ≤ x 10-9 标准立方厘米/秒。UHP1 系列在 160 级洁净室内制造和包装。